深圳市中图仪器股份有限公司

SJ6000机床检测激光干涉仪可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析。内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。激光的高方向性、高相干性和高单色性特点，使其具有普通光源所没有的优势。以激光干涉技术为核心，SJ6000机床检测激光干涉仪机床精度测试的分辨率可达纳米级。采用的激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出，并且干涉镜与主机分离设计，避免了干涉镜受热影响，保证了干涉光路稳定可靠。测量功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）SJ6000机床检测激光干涉仪支持手动或自动进行环境补偿。技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa

SJ5160光栅测长机自主研发智能全自动测量功能，用户操作体验感佳，而且仪器精度测量重复性30nm。可操作性能强，譬如全自动接触、智能找拐点，全自动光滑、螺纹环规测量等，操作人员在使用仪器过程中，只需将工件移动到位置，输入被测件参数，即可实现一键测量，无需人工干涉测量过程，通过智能测力识别方式防误操作撞针，做到无损伤测量。产品功能1.自动校准高等量块、块规、高等光滑环塞规、螺纹环塞规、光滑卡规、千分尺校对杆、两点内径千分尺、光滑锥度环塞规、螺纹锥度环塞规等量具量规；2.检测各种类国标（GB）、ISO（国际）、BS（英制）、ANSI（美标）、DIN（德标）、JIS（日标）量规。国内量块、量规、螺纹规、尺类、千分尺校对杆、卡规等及其它标准数据库，满足国内客户需求；3.满足多种检定规程、标准，根据规程、标准自动进行检测结果判定；4.界面友好，更符合中国用户操作习惯；5.测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；6.可从数据库中选定多条记录成批打印检定记录或者检定证书；7.可将检定数据输出到Word、Excel、PDF文档；8.具有数据备份和还原数据库功能；9.输出多种Word格式报表，并支持自定义报表，定制检定记录报表和检定证书的格式，特别适合国内计量机构对报表方面的要求；10.SJ5160光栅测长机可根据客户需求定制标准（选配）。软件附带零测力功能1.软件带零测量测力修正功能，可在系统设置内勾选；2.准确的电子测力技术，能准确地读取到当前的接触测力；3.零测量力修正，根据被测件测量时的测针、测帽形状及被测件尺寸进行测力变形量修正。SJ5160光栅测长机采用进口超高精度光栅测量系统、超高精密研磨直线导轨、超高精度温度补偿系统、全自动调节双向高精度电子恒测力系统、高稳定性X&Y&Z三轴直流伺服驱动系统、高性能计算机控制系统技术，整个测量过程不超过4分钟，可以实现各种长度参数的高精度测量。

中图光学轮廓测量仪SuperViewW1以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。主要对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。结构特点4.精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。2.双重防撞保护措施除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。3.双通道气浮隔振系统中图光学轮廓测量仪既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。一体化操作的测量分析软件1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。中图光学轮廓测量仪可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为140*110mm，局部位移精度可达亚微米级别，镜头的横向分辨率数值可达0.4um，Z向扫描电机可扫描10mm范围，纵向分辨率可达0.1nm级别，因此可测非常微小尺寸的器件。

中图仪器VX系列简易图像尺寸测量仪融合了快速闪光测量的创新测量理念。这种图像测量仪特别适用于手机配件、等小尺寸工件的批量测量，速度快，操作简单；对于复杂工件，能实现快速测量，大大提高了测量效率。可以满足各类零部件轮廓尺寸快速测量需求，工件无需定位，任意摆放，一键完成二维平面尺寸测量，搭载光学非接触式测头还可实现高度尺寸、平面度等参数的精密快速测量，还可搭载卧式转台，实现360°多面测量。产品优点1.测量速度快，几秒内即可完成上百个尺寸的测量与公差评价，尤其适合小工件的批量测量。2.重复精度高，数据准确可靠，测量结果不会因人而异。3.操作简单轻松，任何人都能轻松上手并正确的测量。测量功能1.量测工具：扫描提取边缘点、多段提取边缘点、圆形提取边缘点、椭圆提取、框选提取轮廓线、聚焦点、最近点等。2.VX系列简易图像尺寸测量仪可测几何量： 点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、距、线宽、孔位、孔径、孔数、孔到孔的距离、孔到边的距离、弧线中心到孔的距离、弧线中心到边的距离、弧线高点到弧线高点的距离、交叉点到交叉点的距离等。3.构建特征：交点、中心点、端点、两点连线、平行线、垂线、切线、平分线、中心线、线段融合、半径画圆、三线内切圆、两线半径内切圆等。4.形位公差：直线度、圆度、轮廓度、位置度、平行度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。5.坐标系：仪器坐标系、点线、两点 X、两线等工件坐标系；图像配准坐标系；可平移、旋转、手工调整坐标系。6.快速工具：R角、水平节距、圆周节距、筛网、槽孔、轮廓比对、弹簧、O型圈等特殊工具快速测量。7.支持公差批量设置、比例等级划分、颜色自定义管理。VX系列简易图像尺寸测量仪采用双远心高分辨率光学镜头，结合高精度图像分析算法，并融入一键闪测原理。CNC模式下，只需按下启动键，仪器即可根据工件的形状自动定位测量对象、匹配模板、测量评价、报表生成，真正实现一键式快速准确测量。

CHS系列三坐标二次元影像仪覆盖面广，满足客户多样的需求，针对特殊需求，还可定制开发。其6.5X电动变倍高分辨率镜头和大视野镜头组合测量，表面光、透射光、同轴光分段编程控制，铸就强大的毛边、弱边抓取功能，清晰呈现工件真实边缘，实现准确测量。仪器的易用性和便捷性，影响着使用体验和测量效率。CHS系列三坐标二次元影像仪手段丰富，功能强大：（1）支持CAD图纸和Gerber图纸导入，坐标系匹配测量；（2）支持触发测头和光学测头，进行高度、平面度测量，实现3D空间测量；（3）支持卡尺、高度计等外部输入，CNC测量支持扫码枪输入。测量功能1.量测工具：扫描提取边缘点、多段提取边缘点、圆形提取边缘点、椭圆提取、框选提取轮廓线、聚焦点、最近点等。2.可测几何量： 点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、距、线宽、孔位、孔径、孔数、孔到孔的距离、孔到边的距离、弧线中心到孔的距离、弧线中心到边的距离、弧线高点到弧线高点的距离、交叉点到交叉点的距离等。3.构建特征：交点、中心点、极值点、端点、两点连线、平行线、垂线、切线、平分线、中心线、线段融合、半径画圆、三线内切圆、两线半径内切圆等。4.形位公差：直线度、圆度、轮廓度、位置度、平行度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。5.坐标系：仪器坐标系、点线、两点 X、两线等工件坐标系；图像配准坐标系；可平移、旋转、手工调整坐标系。6.快速工具：R角、水平节距、圆周节距、筛网、槽孔、轮廓比对、弹簧、O型圈等特殊工具快速测量。7.支持公差批量设置、比例等级划分、颜色自定义管理。优点a.以非接触式的光学测量为主，接触式测量为辅，各传感器的快速切换，可进行全且准的测量任务；B.效率高，非接触式测量利用光学测量技术无需接触产品表面，可实现效率高的测量；c.通用性强，光学测量针对接触式测量无法实现接触的特征，可通过光学放大及光强调节进行测量，如微型特征，深槽内特征及接触易变形材料或薄件等。CHS系列三坐标二次元影像仪具有测量手段多、灵活性强、非接触等特点，被广泛的应用在各种精密电子、晶圆科技、塑胶、精密零件、接插件、模具、PCB板、钟表零件、光纤器件、汽车工程、高等院校、科研院所等领域。