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深圳市中图仪器股份有限公司

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    深圳市中图仪器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。<a href="https://cn.toocle.com/company/47761-202349/" target="_blank">中图仪器</a><img src="https://img-i-album.toocle.com/view/2023/02/02/da/63db6592879da.jpg" style="max-width:100%;"/>
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    • 桥式三坐标测量机
      桥式三坐标测量机已广泛用于机械制造业、汽车工业、电子工业、航空航天工业和国防工业等各部门,成为现代工业检测和质量控制的测量设备。涉及的部门和行业非常广泛。在应用范围里面,三坐标检测也基本上涵盖了机械零件及电子元器件和各种形状公差和位置公差。利用三坐标检测手段能更好的判断工件的实际要素与理想要素之间的误差。中图仪器桥式三坐标测量机是国产三坐标测量机,控制器、测头测座、软件全自主研发,安全可控。测控部分测控部分的配置可以根据需求进行选择不同的型号和品牌。1、控制器中图Alpha系列控制器,是中图自主研发的三坐标控制器,可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。2、测座 ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座,可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动,该测座具有720个可重复定位空间位置,可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。3、测头 CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头,可以在空间5个方向进行触发受力,经过长时间的反复对比测试,性能优于同类型进口测头。精度高,稳定性好。4、测量软件Power DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件,拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议,并通过了德国PTB认证。
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    • 国产全自主化三坐标测量机
      中图仪器国产自主化三坐标测量机适用于各种工业领域,包括汽车、航空、电子、机械等等。多种型号和配置的设备,满足客户的不同需求。设备操作简便,具有高速和高精度的测量功能,能够帮助客户有效提高工作效率和产品质量。还提供完善的售后服务,保障客户的设备操作顺利,降低客户的使用成本。国产自主化三坐标测量机,控制器、测头测座、软件全自主研发,安全可控。测控部分的配置可以根据需求进行选择不同的型号和品牌。1、控制器中图Alpha系列控制器,是中图自主研发的三坐标控制器,可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。2、测座中图仪器自主研发的自动旋转测座,可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动,该测座具有720个可重复定位空间位置,可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。3、测头中图仪器自主研发的机械式触发测头,可以在空间5个方向进行触发受力,经过长时间的反复对比测试,性能优于同类型进口测头。精度高,稳定性好。4、测量软件Power DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件,拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议,并通过了德国PTB认证。
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    • 精密测量粗糙度轮廓仪一体机
      1.纳米级光学传感器,可大量程(24mm)测量轴承圆弧沟槽表面粗糙度;2.拔插式测杆、0.5mN超低测力保护工件测量面;3.多方向运动轴保护措施,确保测针、保护仪器关键部位;4.具备轴承沟道测量功能:桃形沟尺寸、圆弧沟道、油沟形状、角度及对称度、套圈越程槽、成品轴承外圈凹槽距离、轴承滚道与挡边角度测量、倒角R及倒角尺寸,对称、非对称、对数曲线滚子凸度及滚子球基面测量功能;5.具备轴承沟道,内孔及端面表面粗糙度测量功能;6.分离式操作控制台,控制X、Z轴移动,使得测针顺利进入工件测量位置7.可将数据扫描点输出到CAD、ASCII格式文件,方便细节观察工件表面缺陷。产品优势1、轴承测量、高稳定、高精密(1)SJ5800系列精密测量粗糙度轮廓仪一体机具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围,测试轴承内外侧。可选轴承夹具和滚子分析,方便测试。(2)分辨率高达0.1nm,系统残差小于3nm。(3)超高直线度研磨级摩擦导轨、特殊红宝石转轴系统提供转动的超高灵敏度及测量精度。(4)高稳定的驱动设计,确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰,保障了系统扫描运动精度。(5)精度标定台能对仪器的参数和测针针尖磨损进行修正补偿,使其满足高精度轮廓测量。2、操作灵活、智能、简单(1)轮廓和粗糙度一体测量,无需切换模块。(2)测针一键拔插,设计的高刚性拔插结构,无需锁螺钉,方便快捷、稳定可靠。(3)各个运动轴都有进行硬件及软件保护,降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。(4)带舵机结构,可防止扫描陡坡时的快速下坠。(5)智能恒测力系统,0.5-3mN 测力档位可调,降低了测力变化引起的测量误差,适合测量各类软、硬性工件。(6)组合调节控制手柄可快速完成载物台平移,X轴和Z轴定位,测杆上下摆动及速度分级调节功能。(7)根据GB/T、ISO、JIS等标准,自动评价粗糙度。(8)软件操作界面简洁直观,任何人都能轻松设定和测量。3、自动、批量、快速测量(1)对于简单的工件只需要设置测量长度即可一键测量;对于复杂的工件,可以定工件的任意位置进行分段测量,并做成模板便于轮廓批量测量。(2)CNC固定坐标系模式下,可快速精确地进行轮廓批量测量。(3)自动保存测量结果,测量完成后可输出测量报告,形式多样。应用范例SJ5800系列精密测量粗糙度轮廓仪一体机分别对发动机关键零部件节温器内筒、气门摇臂及凸轮轴进行高精度轮廓参数检测。1)节温器内筒轮廓粗糙度检测2)气门摇臂内孔粗糙度检测3)发动机凸轮轴轮廓尺寸及粗糙度检测
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    • WD4000无图晶圆几何量测系统
      WD4000无图晶圆几何量测系统采用高精度光谱共焦传感技术、光干涉双向扫描技术,完成非接触式扫描并建立图,实现晶圆厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反应表面形貌的参数。自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数,同时生成Mapping图;2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像,显示2D剖面图和3D立体彩色视图,高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数;3、基于白光干涉图的光谱分析仪,通过数值七点相移算法计算,达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度,实现膜厚测量功能;4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉,由此计算出两表面间的距离(即厚度),可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度,包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。测量功能1、厚度测量模块:厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等;2、显微形貌测量模块:粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等;粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数;结构分析包括孔洞体积和波谷。WD4000无图晶圆几何量测系统可广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量WD4000无图晶圆几何量测系统集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组,使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术(1)采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。(2)搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘,晶圆规格最大可支持至12寸。(3)采用Mapping跟随技术,可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术(1)采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法,Z向分辨率高可到0.1nm;(2)隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声,获得高测量重复性。(3)机器视觉技术检测图像Mark点,虚拟夹具摆正样品,可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台(1)大行程龙门结构(400x400x75mm),移动速度500mm/s。(2)高精度花岗岩基座和横梁,整体结构稳定、可靠。(3)关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动,搭配分辨率0.1μm的光栅系统,保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧(1)集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。(2)具备双重防撞设计,避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。(3)具备电动物镜切换功能,让观察变得快速和简单。应用场景1、无图晶圆厚度、翘曲度的测量通过非接触测量,将晶圆上下面的三维形貌进行重建,强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV),有效保护膜或图案的晶片的完整性。2、无图晶圆粗糙度测量Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像,用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片,细磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次测量数据计算重复性为0.046987nm,测量稳定性良好。恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
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    • GTS3800激光跟踪仪
      激光跟踪仪在在大尺寸精密测量领域,取代了大型固定式三坐标测量机、经纬仪、全站仪等许多传统测量设备,在设备校准、部件检测、工装制造与调试、集成装配和逆向工程等应用领域显示出高测量精度和效率,激光跟踪仪已成为大尺寸精密测量的主要手段。GTS3800激光跟踪仪系统由计算机、跟踪测量站、目标镜组成,将水平和垂直两个方向的角度测量与距离测量结合在一起,构成一个球坐标测量系统;通过目标镜完成空间几何元素测点信息的获取,并通过三维数据分析软件完成对空间几何元素尺寸、尺寸公差与形位公差、空间曲面与曲线的分析计算工作。集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体,可用于尺寸测量、安装、定位、校正和逆向工程等应用,是功能强的计量检测工具。主机测量系统(1)集成化控制主机设计处理能力强、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头,主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量,方便现场快速安装。(2)目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球,完成断光续接,自动锁定目标球,全过程不需人为操作,提高测量效率。(3)HiADM测距技术激光绝对测距(ADM)和激光干涉测距(IFM)融合技术(HiADM),将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合,保证测量精度,并实现挡光恢复。(4)一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数,实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响,保证测量的准确性。(5)MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信,方便保密车间的现场使用,最高测量数据输出速度1000点/秒。(6)便携性运输GTS3800激光跟踪仪集成化主机设计的激光跟踪头,集成式的配件运输箱,使得整个运输箱体系统体积小、重量轻,易用性佳,并且便于在不同的工作地点之间进行运输。(7)密封防护设计IP54防护等级,保证主机免受灰尘和其他污染物的进入,环境适用性强。(8)稳固三脚架稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件,灵巧升降机构设计省力操作,稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。主机技术指标型号GTS3800基本规格跟踪头尺寸220×280×495 mm跟踪头重量21.3Kg控制器集成式激光器633nm,1mW/CW | Class 2防护等级IP54测量范围最大测量半径80米水平方向±360°垂直方向-145°~+145°测量精度空间精度15μm+6μm/m干涉测距精度0.5μm/m绝对测距精度10μm (全程)水平仪精度2.0″目标识别目标自锁距离60m相机与视场角1.3MP | 10° FOV靶球规格靶球直径0.5英寸~1.5英寸球心距离3µm~7.5µm性能特点1、速度与精度的融合实现测量精度和速度的同时,具备挡光自动恢复的功能。2、目标球自动搜索断光时自动搜索目标球,完成断光续接,目标球自动锁定,提高测量效率。3、大尺寸测量范围广激光跟踪仪可测量直径达到160m的空间范围,适用于大尺寸三维测量。4、接触式测量借助靶球反射激光光束(SMR)确定三维空间坐标。5、持续稳定的支撑系统三脚架底盘确保稳定的测量条件,避免环境震动带来的精度损失。6、集成化设计易携带结构设计紧凑,集成式的配件运输箱,整备体积小、重量轻,便于运输。应用GTS3800激光跟踪仪可广泛应用在各种大尺度空间精密测量领域,如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量;在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量;在汽车制造中对车型的在线测量;在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外,激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等制造各个领域。
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