深圳市中图仪器股份有限公司

1.纳米级光学传感器，可大量程(24mm)测量轴承圆弧沟槽表面粗糙度；2.拔插式测杆、0.5mN超低测力保护工件测量面；3.多方向运动轴保护措施，确保测针、保护仪器关键部位；4.具备轴承沟道测量功能：桃形沟尺寸、圆弧沟道、油沟形状、角度及对称度、套圈越程槽、成品轴承外圈凹槽距离、轴承滚道与挡边角度测量、倒角Ｒ及倒角尺寸，对称、非对称、对数曲线滚子凸度及滚子球基面测量功能；5.具备轴承沟道，内孔及端面表面粗糙度测量功能；6.分离式操作控制台，控制X、Z轴移动，使得测针顺利进入工件测量位置7.可将数据扫描点输出到CAD、ASCII格式文件，方便细节观察工件表面缺陷。产品优势1、轴承测量、高稳定、高精密(1)SJ5800系列精密测量粗糙度轮廓仪一体机具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，测试轴承内外侧。可选轴承夹具和滚子分析，方便测试。(2)分辨率高达0.1nm，系统残差小于3nm。(3)超高直线度研磨级摩擦导轨、特殊红宝石转轴系统提供转动的超高灵敏度及测量精度。(4)高稳定的驱动设计，确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰，保障了系统扫描运动精度。(5)精度标定台能对仪器的参数和测针针尖磨损进行修正补偿，使其满足高精度轮廓测量。2、操作灵活、智能、简单(1)轮廓和粗糙度一体测量，无需切换模块。(2)测针一键拔插，设计的高刚性拔插结构，无需锁螺钉，方便快捷、稳定可靠。(3)各个运动轴都有进行硬件及软件保护，降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。(4)带舵机结构，可防止扫描陡坡时的快速下坠。(5)智能恒测力系统，0.5-3mN 测力档位可调，降低了测力变化引起的测量误差，适合测量各类软、硬性工件。(6)组合调节控制手柄可快速完成载物台平移，X轴和Z轴定位，测杆上下摆动及速度分级调节功能。(7)根据GB/T、ISO、JIS等标准，自动评价粗糙度。(8)软件操作界面简洁直观，任何人都能轻松设定和测量。3、自动、批量、快速测量(1)对于简单的工件只需要设置测量长度即可一键测量；对于复杂的工件，可以定工件的任意位置进行分段测量，并做成模板便于轮廓批量测量。(2)CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行轮廓批量测量。(3)自动保存测量结果，测量完成后可输出测量报告，形式多样。应用范例SJ5800系列精密测量粗糙度轮廓仪一体机分别对发动机关键零部件节温器内筒、气门摇臂及凸轮轴进行高精度轮廓参数检测。1)节温器内筒轮廓粗糙度检测2)气门摇臂内孔粗糙度检测3)发动机凸轮轴轮廓尺寸及粗糙度检测

WD4000无图晶圆几何量测系统采用高精度光谱共焦传感技术、光干涉双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立图，实现晶圆厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反应表面形貌的参数。自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；3、基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。WD4000无图晶圆几何量测系统可广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量WD4000无图晶圆几何量测系统集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术（1）采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。（2）搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘，晶圆规格最大可支持至12寸。（3）采用Mapping跟随技术，可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术（1）采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；（2）隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声，获得高测量重复性。（3）机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台（1）大行程龙门结构(400x400x75mm)，移动速度500mm/s。（2）高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。（3）关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧（1）集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。（2）具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。（3）具备电动物镜切换功能，让观察变得快速和简单。应用场景1、无图晶圆厚度、翘曲度的测量通过非接触测量，将晶圆上下面的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV)，有效保护膜或图案的晶片的完整性。2、无图晶圆粗糙度测量Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像，用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片，细磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次测量数据计算重复性为0.046987nm，测量稳定性良好。恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

激光跟踪仪在在大尺寸精密测量领域，取代了大型固定式三坐标测量机、经纬仪、全站仪等许多传统测量设备，在设备校准、部件检测、工装制造与调试、集成装配和逆向工程等应用领域显示出高测量精度和效率，激光跟踪仪已成为大尺寸精密测量的主要手段。GTS3800激光跟踪仪系统由计算机、跟踪测量站、目标镜组成，将水平和垂直两个方向的角度测量与距离测量结合在一起，构成一个球坐标测量系统；通过目标镜完成空间几何元素测点信息的获取，并通过三维数据分析软件完成对空间几何元素尺寸、尺寸公差与形位公差、空间曲面与曲线的分析计算工作。集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，可用于尺寸测量、安装、定位、校正和逆向工程等应用，是功能强的计量检测工具。主机测量系统（1）集成化控制主机设计处理能力强、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2）目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输GTS3800激光跟踪仪集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，易用性佳，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。主机技术指标型号GTS3800基本规格跟踪头尺寸220×280×495 mm跟踪头重量21.3Kg控制器集成式激光器633nm,1mW/CW | Class 2防护等级IP54测量范围最大测量半径80米水平方向±360°垂直方向-145°~+145°测量精度空间精度15μm+6μm/m干涉测距精度0.5μm/m绝对测距精度10μm (全程)水平仪精度2.0″目标识别目标自锁距离60m相机与视场角1.3MP | 10° FOV靶球规格靶球直径0.5英寸~1.5英寸球心距离3µm~7.5µm性能特点1、速度与精度的融合实现测量精度和速度的同时，具备挡光自动恢复的功能。2、目标球自动搜索断光时自动搜索目标球，完成断光续接，目标球自动锁定，提高测量效率。3、大尺寸测量范围广激光跟踪仪可测量直径达到160m的空间范围，适用于大尺寸三维测量。4、接触式测量借助靶球反射激光光束（SMR）确定三维空间坐标。5、持续稳定的支撑系统三脚架底盘确保稳定的测量条件，避免环境震动带来的精度损失。6、集成化设计易携带结构设计紧凑，集成式的配件运输箱，整备体积小、重量轻，便于运输。应用GTS3800激光跟踪仪可广泛应用在各种大尺度空间精密测量领域，如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等制造各个领域。

SJ5800表面粗糙度轮廓仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的高精度测量仪器，具有12mm-24mm的粗糙度轮廓一体式测量范围，分辨率达到0.1nm。可广泛应用于精密机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金等行业。该仪器可以对零件表面的轮廓度、波纹度、粗糙度实现一次扫描测量，尤其是大范围曲面、斜面进行粗糙度检测。产品功能1.SJ5800表面粗糙度轮廓仪一次测量可同时评定粗糙度及轮廓参数，分析评定R参数、P参数、W参数等微观粗糙度参数及倒角、R角、直线度、位置尺寸、角度的宏观轮廓参数；2.表面粗糙度评定： R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数评定；3.圆球类零件轮廓及粗糙度参数测量评定；4.表面轮廓评定：评定任何点/线间距、两线夹角、圆弧半径、直径等几何量尺寸参量，并可对轮廓进行直线度、圆度、轮廓度、平行度、位置度、垂直度等分析，重新分析和测量的操作简洁高效；5.尺寸标注：半径、两圆中心距离、X/Z尺寸、斜边、两线夹角、直线相交、直线与圆弧相交、圆弧与圆弧相交、尺寸标注线大小修改、线偏移、局部轮廓放大和调平等；6.测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检测员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理测量记录；7.输出多种格式报表，并支持自定义报表，定制测量记录报表，可批量打印记录表，具有数据备份和还原数据库功能；8.具备自动找拐点功能，能按照程序设置进行X轴自动找拐点；9.成熟简单的标定，仪器自带高精度组合标定台，可对仪器的精度和测针磨损进行精确补偿；10.可进行DXF（CAD）格式图纸导入，进行理论图纸与测量结果比对分析，可提供直观图形对比；11.可导出坐标点数据（.TXT）等格式，可读取到Excel或者CAD软件内进行数据分析及标准轮廓比对；12.可对多次测量的轮廓曲线匹配后进行分析测量重复性。SJ5800表面粗糙度轮廓仪适合测量大曲面高精密零部件的轮廓参数测量，同时具备球面、弧面、非球面轮廓参数评价功能，能够满足各种高精密轮廓粗糙度加工行业的测量需求。如圆弧面和球面、异型曲面进行多种粗糙度参数、微观轮廓度参数的测量。同时仪器还可对各种精密零件轮廓度、波纹度进行测量，对形状参数进行分析。是大曲面测量（轴承、人工关节、精密模具、齿轮、叶片、光学镜片）领域精细粗糙度测量的利器。用于圆锥滚子轴承表面微观轮廓Pt及粗糙度测量性能特点1、一次测量同时评定轮廓和粗糙度参数超高精度衍射光学测量系统，具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，分辨率高达0.1nm，系统残差小于2nm。2、高精度、高稳定性、高重复性：满足被测件测量精度要求1)系统扫描轴采用特殊的超高耐磨材质复合材质摩擦片，耐磨性能优良，稳定性高，能保障系统长时间的稳定的直线度精度；2)高精度转轴采用特殊的高刚性、低惯量、超低摩擦系数的红宝石转轴系统，确保了转动的超高灵敏度及测量精度；3)超高稳定的驱动设计，确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰，保障了系统扫描运动精度；4)高精度的纳米级光学转轴测量系统，保障了仪器超高的分辨率及全程纳米级粗糙度测量精度；5)一体式拔插式碳纤维测杆、高刚性、低惯量，一键拔插，特殊设计的高刚性拔插结构，无需锁螺钉，方便快捷、稳定可靠；3、智能化管理与软件分析系统仪器操作界面友好，操作者易掌握仪器基本操作，使用十分简便。1)10多年积累的实用检测软件设计经验，向客户提供简洁、实用、快速的操作体验；2)智能化分析及记录，同批次可自动测量和分析，大幅度减少人员的操作要求及降低人员的劳动强度；3)测量范围广，可满足绝大多数类型的工件粗糙度轮廓测量要求；4)非球面专用软件分析功能模块，一键式快速测量非球面光学镜片；5)可自动和手动选取被测段进行评定，可依据客户要求进行软件功能的定制；6)纯中文操作软件系统，更好的为国内用户服务；7)可打印各种格式的检定报告，自动显示、打印、保存、查询测量记录，打印格式正规、美观；检定数据可存档，或集中打印，不占用检定操作时间；8)本仪器采用计算机大容量数据库储存，可自动记录保存所有检定结果。4、智能保护系统仪器在各个方向都有进行硬件及软件保护，能有效的保护仪器主机及测针，降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤；模块测针拔插式结构，方便更换，遇到卡针可轻松拆换测针；测量传感器带舵机结构，可防止扫描陡坡时的快速下坠。5、灵活手动控制：仪器配置了特殊分离式操作杆，操作杆在仪器操作移动时，可放置在任何位置控制操作，在测量工件前对测针进行粗定位；在脱离电脑的情况下，操作杆具备左右/上下移动测针、急停、测杆上下角度摆动及速度分多级调节功能。6、成熟的标定校准技术仪器配置特殊的高精度标定台，通过简单的标定操作，能对仪器的参数进行误差补偿，对测针针尖磨损进行修正补偿，使其满足高精度轮廓测量。环境条件温度：20±5℃；相对湿度：10%~80%；电源/功率：220V，50Hz，≤1.5KW（含电脑及显示器）；振动：按照三坐标振动要求标准，振动速度均方根≤5um/s，振动频率8~100Hz；校准室内应无影响测量的灰尘、震动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场；

光学影像测量仪通过光学原理进行测量，通过自带的摄像头捕捉图像，将数据传输到计算机，通过软件系统合成直观的图像，通过分析人员对图像的数据进行分析，然后得出最终的数据结论，不仅实现了工件的形状、长、宽、高等数据的具体化，还可以精确测量工件的表面平面度。CHOTEST中图仪器Novator系列全自动光学影像测量仪将传统影像测量与激光测量扫描技术相结合，还支持频闪照明和飞拍功能，可进行高速测量，大幅提升测量效率；具有可独立升降和可更换RGB光源，可适应更多复杂工件表面，实现2.5D和3D复合测量。产品优势激光扫描成像、3D复合测量1.支持点激光轮廓扫描测量，进行高度方向上的轮廓测量。2.支持线激光3D扫描成像，可实现3D扫描成像和空间测量。3.VisionX测量软件支持多种轮廓测量和3D空间测量，无缝连接2D/3D混合测量。频闪照明光源、高速硬件飞拍1.具备频闪照明光源，支持频闪和普通双模式。2.支持飞拍模式测量，测量效率提升5~10倍。3.Novator系列全自动光学影像测量仪融入中图闪测仪的拼接测量功能，发挥综合优势。可更换RGB表光、独立升降表光1.可更换RGB表光和白色表光，适应多种复杂颜色和材料表面。2.表光可独立升降，更好的观察样品表面。3.支持六环八分区表面光、透射光、同轴光分段编程控制。自动测量，批量更快1.程序匹配工件坐标系，自动执行测量流程。2.支持CAD图纸和Gerber图纸导入，坐标系匹配测量。3、CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行批量测量。Novator系列全自动光学影像测量仪可测几何量： 点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、距、线宽、孔位、孔径、孔数、孔到孔的距离、孔到边的距离、弧线中心到孔的距离、弧线中心到边的距离、弧线高点到弧线高点的距离、交叉点到交叉点的距离等；形位公差：直线度、圆度、轮廓度、位置度、平行度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。技术规格型号Novator562行程范围X(mm)500Y(mm)6000Z(mm)200结构形式移动桥式图像传感器高清彩色工业摄像机光栅显示分辨率0.1μm镜头13.3X电动连续变倍放大倍率光学放大:0.6~8.0X，影像放大:17~232X检测精度X/Y轴±(1.8+L/200)μmX⊥Y轴±(2.5+L/200)μmZ轴(2.8+L/200)μm3D扫描成像测量Z向测量范围5mm扫描宽度30mm重复精度±1μm测量精度±0.1%F.S.扫描速度10~80mm/s支持飞拍测量模式支持支持导航相机支持传感器配置选配，(1)接触式探针；(2)白光共焦；(3)三角激光外形尺寸(mm)1050×1520×1700仪器重量(kg)1000Novator系列影像测量仪新增的飞拍功能改变影像仪传统运行方式，在平台快速移动过程中完成特征抓取测量，无停留等待时间，产品的测量效率对比传统设备效率提升了5~10倍。搭载着高精度光学电动变倍镜头，不但能将微小的产品特征看清，还能满足高精度的产品尺寸测量。