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深圳市中图仪器股份有限公司
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白光干涉显微镜
中图仪器SuperViewW系列白光干涉显微镜采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。产品功能1)白光干涉显微镜设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。SuperViewW系列白光干涉显微镜以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量,可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,xy载物台标准行程为140*110mm,局部位移精度可达亚微米级别,镜头的横向分辨率数值可达0.4um,Z向扫描电机可扫描10mm范围,纵向分辨率可达0.1nm级别,因此可测非常微小尺寸的器件。技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×)XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动形貌重复性0.1nm粗糙度RMS重复性0.005nm台阶测量准确度:0.3%;重复性:0.08%(1σ)可测样品反射率0.05%~100%主机尺寸700×606×920㎜性能特色1、高精度、高重复性1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;2)隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性;2、环境噪声检测功能具备0.1nm分辨率的环境噪声检测模块,能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰,在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,最大限度的保护仪器,降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW白光干涉显微镜具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。并且其特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。
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测长机测长仪
中图仪器SJ5100系列测长机测长仪具有高精度、高速度、非接触式测量等优点,是利用光栅的干涉作用,通过光电检测器将光信号转化为电信号,并经过计算得出被测物体的尺寸。广泛应用于机械加工、电子制造、半导体生产等领域,常用于工业生产中对物体长度、角度和位置等参数的精确测量。其测量精度通常可达到亚微米级别,可以满足大多数工业生产对尺寸精度的要求。产品描述SJ5100系列测长机测长仪采用进口高精度光栅测量系统、高精密研磨直线导轨、高精度温度补偿系统、双向恒测力系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种长度参数的高精度测量。通过高精密研磨导轨保证测量头座移动的高稳定性及超高直线度,采用进口高精度光栅测量系统记录长度方向坐标,由计算机将光栅数据与测力装置、温度传感器的反馈数据及阿贝误差数据修正后进行数据合成(由于导轨较高的直线度,因此阿贝修正造成的仪器误差小)。按被测件参数的相关定义及公式进行分析,计算获得相关长度参数。操作者装好被测件,在检测软件上选择被测件的标准和输入被测件的规格参数后,移动头座接触被测件,调整五轴工作台找到拐点,采样完成得到测量数据,系统可实时显示测量结果,自动计算被测件各项参数(如检测螺纹规,则可自动计算螺纹中径),并根据系统内置的标准数据库对被测件的各项参数进行合格判定,整个测量过程不超过3分钟,结束后自动生成结果及记录报表。仪器主要功能1.标配功能:检测量块&块规:(0.1~300mm);光滑环规:φ5~φ200mm(壁厚≤50 mm,高度≤50mm)、光滑塞规:φ1~φ220mm;螺纹环规:M5~M200(螺距0.8~4mm)螺纹塞规:M1~M220(螺距0.25~5.5mm);光滑卡规:内卡5~200mm,外卡1~300mm千分尺校对杆:25~300mm;塞尺:0.02~1mm针规:φ0.1~φ10mm三针:0.118~6.585mm;两点内径千分尺:25~300mm;2.可选配功能:小型光滑环规:φ0.8~φ5mm;螺纹环规:规格M3~M4(螺距0.5~0.7mm);光滑锥度环规:φ5~φ200mm(厚度≤50mm);光滑锥度塞规:φ5~φ60mm(长度10~100mm);φ60~φ200mm(长度≤50mm);螺纹锥度环规:M5~M200mm(厚度≤50mm);螺纹锥度塞规:M5~M60mm(长度10~100mm);M60~M200mm(长度≤50mm);锯齿螺纹、梯形螺纹:M3~M400(螺距0.5~6mm);花键环塞规/花键及标准齿轮(跨棒距测量):内φ10~φ200mm,外φ5~φ200mm,模数0.8~6mm;外径千分尺示值误差手动校准:25~300mm;数显及游标卡尺示值误差手动校准:75~300mm;深度千分尺示值误差手动校准:0~25、25~50、50~75mm;三爪内径千分尺手动校准:φ6~φ200mm;表类(百分表、千分表、杠杆表手动校准);数显半径规手动校准:R5~R700mm;轴承内外圈锥度、沟槽底径内外径及沟槽宽度、精密零部件的长度尺寸,内外径尺寸测量;主要技术指标型号SJ5100-Prec300(精密测量型)测量范围外尺寸直接测量:0~340mm内尺寸比较测量:5~200mm(配置比较测量环规)外尺寸示值误差≤±(0.2+L/1000)μm,其中:L为被测长度,单位:mm内尺寸重复性(2S或2δ)≤0.1μm内尺寸重复性(2S或2δ)≤0.2μm(使用测钩)≤0.3μm(使用内测装置)分辨力0.01μm(可选0.1μm、1μm)测力内测装置传感器测力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N、主测力1~10N手动连续可调测量最大直径环规200mm(标配) 、塞规250mm(标配)仪器尺寸1400*400*450mm仪器重量150kg五轴工作台型号ST-30.1(标配)Z轴0~50mmY轴±25mmX轴浮动±10mmZ轴旋转±3°Y轴摆动±3°负载50kg台面尺寸350*25mm性能特点1.全程直接测量:SJ5100系列测长机测长仪采用进口高精度长玻璃光栅尺作为长度方向定位,可进行高精度全行程直接测量。2.高精度、高稳定性:1)高精度光栅测量系统,分辨力达到0.01μm,测量精度高;2)精密研磨导轨系统导轨直线度高,材料耐磨性好、保证系统高精度稳定可靠的工作;3)进口特殊材料制作的高刚性、无变形测杆,保证测试数据的高精度真实采集;4)采用大理石基座,通过有限元分析优化仪器基座结构保障几十年稳定不变形,高刚性大理石底座结构保证了仪器在头座及工作台在测量移动过程中几乎不产生变形,仪器受外界震动干扰小,保证仪器的长期稳定可靠性;5)采用紧凑型摩擦驱动结构,移动摩擦驱动力小,保证了头座移动过程中的稳定性。3.双向恒测力:1) 特殊传感器双向恒测力系统,减小了测力对测量结果的影响,保证了高的系统测量精度;2) 测力较大范围的连续可调;3) 非砝码加载,测力传感器原理避免了仪器台面不水平及周围环境振动带来的测力误差。
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sj6000激光干涉仪
sj6000激光干涉仪具有高精度、高灵敏度、非接触式测量等优点,被广泛应用于工程和科研领域。在工程领域,它可以用于测量材料变形、振动、热膨胀等力学特性;在科研领域,可以用于光学元件表面形貌、复杂形状的物体三维形貌和运动学研究等。采用高性能的稳频氦氖激光器,采用迈克尔逊干涉原理的测量仪器,在计量领域中可作为长度基准以及设备校准工具。广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。产品功能(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;(5)sj6000激光干涉仪具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;(6)支持手动或自动进行环境补偿。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。线性测量配置及使用方法线性测量(线性轴位置精度测量的简称)配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成,可满足0~80m范围内的线性测量。其中,线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。SJ6000静态测量软件可以将线性测量结果生成误差补偿表,该表涵盖了各个测量点的补偿值,运动控制系统制造商允许通过修改运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差,精确的补偿,可以有效地降低运动轴的位置误差。线性测量中目标位置的数据采集有基于位置的目标采集和基于时间的目标采集两种方式,普遍采用基于位置的目标采集方式,即:被测运动轴需设定若干个等距的定位点,当运动轴移动到设定的定位点时,需设置停留时间,以供SJ6000测量软件进行当前点的数据采集。线性测量应用SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。sj6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。
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国产激光跟踪仪品牌
中图仪器GTS国产激光跟踪仪品牌在大尺寸精密测量领域,取代了大型固定式三坐标测量机、经纬仪、全站仪等许多传统测量设备,在设备校准、部件检测、工装制造与调试、集成装配和逆向工程等应用领域显示出高测量精度和效率,可用于尺寸测量、安装、定位、校正和逆向工程等应用,是功能强大的计量检测工具。应用在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量;在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量;在汽车制造中对车型的在线测量;在制造中对运动机器人位置的精确标定。此外,GTS国产激光跟踪仪品牌还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等制造各个领域。GTS国产激光跟踪仪品牌系统由计算机、跟踪测量站、目标镜组成,将水平和垂直两个方向的角度测量与距离测量结合在一起,构成一个球坐标测量系统;通过目标镜完成空间几何元素测点信息的获取,并通过三维数据分析软件完成对空间几何元素尺寸、尺寸公差与形位公差、空间曲面与曲线的分析计算工作。集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体。性能特点1、功能强的主机测量系统(1)集成化控制主机设计处理能力强、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头,主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量,方便现场快速安装。(2)目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球,完成断光续接,自动锁定目标球,全过程不需人为操作,提高测量效率。(3)HiADM测距技术激光绝对测距(ADM)和激光干涉测距(IFM)融合技术(HiADM),将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合,保证测量精度,并实现挡光恢复。(4)一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数,实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响,保证测量的准确性。(5)MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信,方便保密车间的现场使用,最高测量数据输出速度1000点/秒。(6)便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头,集成式的配件运输箱,使得整个运输箱体系统体积小、重量轻,易用性佳,并且便于在不同的工作地点之间进行运输。(7)密封防护设计IP54防护等级,保证主机免受灰尘和其他污染物的进入,环境适用性强。(8)稳固三脚架稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件,灵巧升降机构设计省力操作,稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头iProbe 6D姿态探头采用机器视觉和重力对齐的传感融合技术,通过探头的局部坐标系和系统整体坐标系的配准变换解算测球的空间位置;不仅能对点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量,而且能够根据探头的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征进行快速、高精度的测量。3、iTracker 6D姿态智能传感器iTracker 6D姿态智能传感器采用主动反向跟踪和重力对齐技术,在测量时实时地调整探头的姿态并始终正对锁定测量激光束,通过运动学模型精密解算目标的三维空间位置坐标和空间姿态角度,可以测量非常宽范围的俯仰角和偏航角。4、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster(简称SMT)是一款自主研发,专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用,并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量,测量数据可溯源的,具有强数据处理分析功能,支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定,此外SMT具有优秀的用户交互性,方便灵活的分析报告功能。5、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案,既提供基于光学靶球的经济方案,也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。激光跟踪仪像所有的三坐标测量设备一样,提供了丰富的建坐标方式,除了传统的三点建坐标、点线面建坐标、多点拟合坐标系等方式以外,还提供了一种复杂拟合建坐标方式,这种建坐标方式允许使用工件上的任意曲面、平面、定位孔、定位点组合起来作为建坐标的基准,拟合计算出工件坐标系。
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二次元测量影像仪
“效率"是企业提升中永恒的话题,传统的影像仪运动方式是设备运行到特征位置,停留后等待软件抓取特征,再运行到下一特征处停留抓取。软件运行从快速运动到停留抓取的过程大大增加了测量时间,降低了测量效率。Novator系列二次元测量影像仪融入闪测仪测量的拼接技术,实现了同一测量模板,影像+闪测测量同时进行。同时软件新增的飞拍功能改变影像仪传统运行方式,在平台快速移动过程中完成特征抓取测量,无停留等待时间,产品的测量效率对比传统设备效率提升了5~10倍。Novator系列二次元测量影像仪可以自动抓取数据点,测量点、线、圆、弧、椭圆、矩形等几何特征,自动分析测量特征的各种参数,如宽度、直径、位置、直线度、圆锥度、圆柱度等各种几何尺寸。仪器特点是可以自动抓取产品的边界和表面,尤其是在测量一些弱边缘特征(如过渡曲线、圆角加工等)时能完成自动抓取。结合专用测量软件对测绘要素数据进行处理、评价和输出。在保证精度的前提下,测量效率更高。测量功能1.量测工具:扫描提取边缘点、多段提取边缘点、圆形提取边缘点、椭圆提取、框选提取轮廓线、聚焦点、最近点等。2.Novator系列二次元测量影像仪可测几何量: 点、线、圆(圆心坐标、半径、直径)、圆弧、中心、角度、距、线宽、孔位、孔径、孔数、孔到孔的距离、孔到边的距离、弧线中心到孔的距离、弧线中心到边的距离、弧线高点到弧线高点的距离、交叉点到交叉点的距离等。3.构建特征:交点、中心点、极值点、端点、两点连线、平行线、垂线、切线、平分线、中心线、线段融合、半径画圆、三线内切圆、两线半径内切圆等。4.形位公差:直线度、圆度、轮廓度、位置度、平行度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。5.坐标系:仪器坐标系、点线、两点 X、两线等工件坐标系;图像配准坐标系;可平移、旋转、手工调整坐标系。6.快速工具:R角、水平节距、圆周节距、筛网、槽孔、轮廓比对、弹簧、O型圈等特殊工具快速测量。7.支持公差批量设置、比例等级划分、颜色自定义管理。技术规格型号Novator0810行程范围X(mm)800Y(mm)1000Z(mm)200结构形式龙门式图像传感器高清彩色工业摄像机光栅显示分辨率0.1μm镜头13.3X电动连续变倍放大倍率光学放大:0.6~8.0X,影像放大:17~232X检测精度X/Y轴±(1.8+L/200)μmX⊥Y轴±(2.5+L/200)μmZ轴(2.8+L/200)μm3D扫描成像测量Z向测量范围5mm扫描宽度30mm重复精度±1μm测量精度±0.1%F.S.扫描速度10~80mm/s支持飞拍测量模式支持支持导航相机支持传感器配置选配,(1)接触式探针;(2)白光共焦;(3)三角激光外形尺寸(mm)1750*2220*1700仪器重量(kg)2900*1 影像放大倍率为近似值,具体值与显示器的尺寸和分辨率相关。*2 在调焦位置,使用环境温度为20°C±1°C时、载物台上搭载重量为5kg以下、L为载物台移动量(mm)。*3 在环境温度20°C±1°C,采用中图标准器检验。*4 需选配光学3D扫描测头。*5测量范围5mm~40mm可选。*6扫描宽度30mm~145mm可选。*7在环境温度20°C±1°C,采用中图标准器检验,F.S.为Z向测量范围(mm)。*8根据实际测量精度要求确定。*9 可选配三种高度测量传感测头。配备(1)触发式测头;(2)点激光(激光同轴位移计);(3)三角激光三种传感器配置,能精准测量零件高度尺寸。应用行业机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器,磁性材料、精密五金、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、计算机(电脑)、液晶电视(LCD)、印刷电路板(线路板、PCB)、汽车、医疗器械、钟表、仪器仪表等。测量对象LCD、FPC、线路板、螺丝、弹簧、钟表、手表、仪表、接插件(连接器、接线端子)、齿轮、凸轮、螺纹、半径样板、螺纹样板、电线电缆、刀具、轴承、五金件、冲压件、筛网、试验筛、水泥筛、网板(钢网、SMT模板)等。测量元素长度、宽度、高度、孔距、间距、厚度、圆弧、直径、半径、槽、角度、R角等。同轴光源测量应用光学测头平面度测量Novator全自动影像仪具有X、Y、Z方向高精度测量能力,重复性精度1μm;支持点激光轮廓扫描测量以及线激光3D扫描成像,进行高度方向上的轮廓测量,实现3D扫描成像和空间测量。还支持频闪照明和飞拍功能,可进行高速测量,大幅提升测量效率;具有可独立升降和可更换RGB光源,可适应更多复杂工件表面。
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