中图仪器表面轮廓仪3d测量检测仪器光学测量精密模具粗糙度参数，采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高，结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程。

产品功能
1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；
2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；
3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；
4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

中图仪器表面轮廓仪3d测量让轮廓测量价格更为实惠。分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、台阶高度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

产品特点
参数测量：粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积，一网打尽；
环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；
双重防撞保护：软件ZSTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石”也能安然无恙；
自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝”；
双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动”。

产品性能
纵向扫描：≤10.3mm，与选用物镜相关
扫描帧速：50FPS/s
粗糙度重复性：0.005nm（依据ISO 25178-2012）
光学分辨率：0.4μm~3.7μm，与选用物镜相关
至大点数：1048576（标准）
台阶测量：准确度≤0.3%，重复性≤0.08%1σ

中图仪器表面轮廓仪3d测量广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量高要求的领域中，可以说只有3d非接触式光学轮廓仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。